La Microscopie Électronique à Balayage (MEB)

Le Centre des Matériaux de l’École des Mines de Paris a une longue histoire en Microscopie Electronique à Balayage (MEB), qui débuta en 1967 avec l’arrivée du deuxième MEB installé en France - il s’agissait alors d’un MEB Cambridge Stereoscan Mk II équipé d’un spectromètre WDS horizontal et semi-focalisant et ayant une résolution de 25 nm.

Depuis cette époque, la microscopie électronique à balayage a beaucoup évoluée et a connu de nombreuses extensions. Désormais, en plus de la fonction première de réaliser des images de surface d’échantillons à petites échelles avec différents types de détecteurs, des accessoires tel que la microanalyse des rayons X (EDS ou WDS), l’analyse cristallographique par détection de la diffraction des électrons rétrodiffusées (EBSD) sont venus se greffer. Des montages expérimentaux ont également pu être adaptés pour réaliser des expériences in-situ directement dans le MEB.

Actuellement, Gérard BRABANT, Antoine DEBRAY, Fabrice GASLAIN, Lynh-Thy TRAN-HOANG et Maria SIMOES,de la plateforme µMAX, gèrent les 3 appareils dont dispose le Centre des Matériaux. Il s'agit de deux MEB (FEI Nova NanoSEM 450 et d’un ZEISS SIGMA300) et d'une microsonde de Castaing (CAMECA SX100).

L'ensemble des équipes de recherche du Centre des Matériaux peuvent accéder à ces appareils et bénéficier de l'expertise du personnel en charge des microscopes électroniques à balayage. Ce parc d'instruments et le savoir-faire de l'équipe peuvent être sollicités dans le cadre d'études de valorisation au travers de VAL Tech.

Caractéristiques techniques

deux MEB (MEB FEI Nova NanoSEM 450 et d’unMEB ZEISS SIGMA 300) et d'une microsonde de Castaing (Microsonde de Castaing CAMECA SX100).