MEB FEI Nova NanoSEM 450
FEI Nova NanoSEM 450
Le microscope électronique à balayage Nova NanoSEM offre les meilleures performances d'imagerie et d'analyse dans un instrument unique et facile à utiliser. Avec Nova NanoSEM, vous pouvez facilement changer les conditions de l'instrument en fonction des types d'échantillons que vous étudiez ou des types de travaux analytiques que vous devez effectuer.
- Installation : 2012
- 50 V à 30 kV, canon S-FEG équipé d'une pointe Shottky
- Courant de sonde indicatif : 0,6 pA à 200 nA
- Colonne haute résolution avec un courant suffisant pour effectuer rapidement des cartographies EDS et analyses EBSD à faible et fort grossissements
- Résolutions : 1 nm à 15 kV, 1,4 nm à 1 kV, 3 nm à 15 kV / 5 nA / WD 5 mm
Grandissements utiles : de 35 à 600 000 x
Grande chambre, platine motorisée (5 axes) à forts débattements.
Low vacuum pour l'observation des échantillons non conducteurs.
Détecteurs :
- SE,
- BSE rétractable (CBS) grande surface avec tension de coupure à +1000 V,
- SE In-Lens et BSE In-Lens (TLD),
- SE Low Vacuum et BSE (GAD) spécifique comportant un cône rayons X muni d’un diaphragme différentiel de 500 μm limitant ainsi la pression avec la lentille finale.
Platine polarisée de +50 V à -4000 V.
Mesure du courant de 1 pA à 2 µA.
Logiciels permettant l’acquisition automatique multi-champs.
Logiciel dédié à la lithographie électronique pour la gravure de motifs complexes.
Automatisation : possibilité de travailler sur de grandes zones ou de travailler la nuit.
Système de microanalyse X EDS
Système de microanalyse X à sélection d'énergie EDS SDD Bruker XFlash 5030 127 eV avec suite logicielle Quantax 800 dont les caractéristiques sont les suivantes :
- Résolution en énergie de 127 eV @ Mn Kα (54 eV @ C Kα, 64 eV @ F Kα), garantie jusqu’à 50 000 cps.
- Détection des éléments possible à partir de l’élément bore.
- Possibilités d'effectuer de nombreuses tâches :
- Acquisition EDS avec analyse qualitative, semi-quantitative et quantitative (avec ou sans témoins) des spectres obtenus ;
- Acquisition d’images MEB suivi d’acquisition / analyse multipoints EDS ;
- Acquisition et analyse de profils de lignes qualitatifs et quantitatifs ;
- Acquisition et analyse de cartographies X spectrales qualitatives et quantitatives (en mono ou multi-champs) ;
- Acquisition et analyse morpho-chimique de particules ou d’inclusions (en mono ou multi-champs).
Système EBSD
Système d'acquisition rapide EBSD de cartographies d'orientations cristallographiques EDAX OIM Hikari.
- Suite OIM v6.1 permettant l'acquisition et le traitement complet des données.
- Caméra rapide avec un capteur CCD de 640x480 pixels de résolution permettant une vitesse d'acquisition/indexation maximale de 320 img/sec (binning 10x10).
- Acquisition mono- ou multi-champs
- Possibilité de travailler indiféremment sur des échantillons massifs ou des lâmes minces (mode réflexion ou transmission)
Platine de traction
Micro-platine de traction/compression équipée de 2 cellules de force (100 N et 5000 N) ayant une course de déplacement de 10 mm.
Responsable(s)
Gérard BRABANT
tél : 01.60.76.30.41
mél : gerard.brabant@mines-paristech.fr
Maria SIMOES
Tél: 01.60.76.31.17
mél :: maria.simoes@mines-paristech.fr