MEB ZEISS SIGMA 300
ZEISS SIGMA 300
Le Zeiss Sigma 300 représente le dernier développement de la technologie GEMINI et comprend un détecteur à lentille entièrement intégré pour les électrons secondaires et un détecteur d'électrons rétrodiffusés à angle sélectif. Le Sigma 300 offre une résolution ultra-élevée pour les informations SE sur la surface de l'image et l'ESB pour présenter les informations de composition en mode vide poussé
• Installation : fin 2016
• 0,02 V à 30 kV, canon FEG équipé d'une pointe Shottky
• Colonne haute résolution Gemini
• Résolution nominale : 1 nm à 15 kV, 1,6 nm à 1 kV
• Grandissements utiles : 10 à 1 000 000 x
• Grande chambre, Platine compucentrique 5 axes
• Détecteurs :
o SE dans la chambre (Everhart-Thornley),
o SE In-Lens,
o BSD rétractable à 4 quadrants, HD BSD
• Courant de sonde 3 pA à 20 nA
Système de microanalyse X EDS
Système de microanalyse X à sélection d'énergie EDS SDD Bruker XFlash 5030 127 eV avec suite logicielle Quantax 800 dont les caractéristiques sont les suivantes :
- Résolution en énergie de 127 eV @ Mn Kα (54 eV @ C Kα, 64 eV @ F Kα), garantie jusqu’à 50 000 cps.
- Détection des éléments possible à partir de l’élément bore.
- Possibilités d'effectuer de nombreuses tâches :
- Acquisition EDS avec analyse qualitative, semi-quantitative et quantitative (avec ou sans témoins) des spectres obtenus ;
- Acquisition d’images MEB suivi d’acquisition / analyse multipoints EDS ;
- Acquisition et analyse de profils de lignes qualitatifs et quantitatifs ;
- Acquisition et analyse de cartographies X spectrales qualitatives et quantitatives (en mono ou multi-champs) ;
- Acquisition et analyse morpho-chimique de particules ou d’inclusions (en mono ou multi-champs).
Système EBSD
Système d'acquisition rapide EBSD Nordif UF300 pour l'acquisition rapide de cartographies d'orientations cristallographiques.
- Acquisition avec le logiciel Nordif UF.
- Suite OIM v6.1 permettant l'indexation et le traitement complet des données.
- Caméra rapide avec un capteur CCD de 640x480 pixels de résolution permettant une vitesse d'acquisition/indexation maximale de 300 img/sec (binning 10x10).
- Possibilité de travailler indifféremment sur des échantillons massifs ou des lames minces.
Responsable(s)
Kevin BARRIERE
tél : 01.60.76.30.04
mél : kevin.barriere@mines-paristech.fr
Antoine DEBRAY
Tél: 01.60.76.31.16
mél : antoine.debray@mines-paristech.fr
Fabrice GASLAIN
Tél: 01.60.76.30.34
mél :fabrice.gaslain@mines-paristech.fr
Maria SIMOES
Tél: 01.60.76.31.17
mél :maria.simoes@mines-paristech.fr
Gérard BRABANT
tél : 01.60.76.30.41
mél : gerard.brabant@mines-paristech.fr